Bandradiometer für präzise Messungen von 172-nm-Xenon-Excimerstrahlern
Der tinyTracker 172 ist ein kalibriertes Bandradiometer für die Bestrahlungsstärke- und Dosismessung an Xenon-Excimer-Lampen bei 172 nm. Der SiC-Photodetektor ist von der PTB kalibriert und im Bereich 155 nm bis 380 nm empfindlich, der Messbereich beträgt 0–200 mW/cm². Bei 10 mm Bauhöhe läuft das Gerät durch Bestrahlungskanäle mit und zeichnet bis zu drei Stunden mit 1 bis 100 Hz auf – auch unter Inertgasatmosphäre.
Xenon-Excimer-Lampen ermöglichen neue, ressourcenschonende und effizientere Fertigungsmöglichkeiten im Bereich der Oberflächenbehandlung zur Mattierung, Reinigung, Oberflächenaktivierung oder zur Einsparung von Photoinitiatoren.
Hierzu wird das schmalbandige Spektrum um 172 nm in der Regel unter Inertgasatmosphäre genutzt. Die hohe Photonenenergie reicht dann aus, um nahezu alle organischen Verbindungen zu spalten.
Auch im sogenannten Vakuum-UV (VUV) ist die Messung von 172 nm eine wichtige Komponente zur Prozesskontrolle und Optimierung.
Mit dem tinyTracker 172 bieten wir ein kalibriertes Bandradiometer an, das für die Anwendung in einer inerten Atmosphäre geeignet ist. Der tinyTracker 172 ist hierzu absolut kalibriert und misst die Bestrahlungsstärke und Bestrahlungsdosis von Xenon-Excimer-Lampen.
Durch die besonders flache Bauform kann der tinyTracker 172 durch Bestrahlungskanäle von UV-Bandtrocknern und anderen industriellen Anlagen geführt werden.
Die Aufzeichnung der Werte startet automatisch bei Überschreitung einer einstellbaren Mindestbestrahlungsstärke. Der eingebaute Photodetektor ist von der PTB kalibriert. Die Datenaufzeichnung erfolgt auf einer austauschbaren SD-Karte, die Datenübertragung über USB. Die Auswertung und der Datenexport erfolgen bequem am PC. Der Li-Ionen-Akku erreicht eine Aufzeichnungsdauer von bis zu 3 h. Der Li-Ionen-Akku kann direkt über die USB-Schnittstelle geladen werden.
Highlights des tinyTrackers für 172 nm Xenon-Excimer-Lampen
- Kalibrierter Photodetektor für VUV-Strahlung
- Ideal für die Messung von 172 nm
- Geringe Höhe von nur 10 mm
- Schnelle Datenaufzeichnung
Warum eine Messung bei 172 nm von Abstand, Atmosphäre und Fenstermaterial abhängt, erklärt die Seite 172-nm-VUV-Strahlung messen.
| Produktart | UV-Messgerät: VUV-Prozess-Dosimeter für 172-nm-Xenon-Excimerlampen in Inertgas |
| Spektralbereich | 172 nm (Nennwellenlänge) |
| Messbereich | 0–200 mW/cm² |
| Kalibrierunsicherheit (typ.) | 4,5–6,0 % (k = 2) |
| Ausgang / Schnittstelle | Schnittstelle: Mini-USB 2.0 |
| Zeitauflösung | Aufzeichnungsfrequenz: 1–100 Hz, einstellbar |
| Kalibrierung | rekalibrierbar |
| Normen / Richtlinien | keine produktspezifische Norm; Kalibrierung nach DIN EN ISO/IEC 17025:2018 möglich |
| Geeignet für | Elektronik und Halbleiter; Optik und Präzisionsbauteile; Automotive |
| Nicht geeignet für | spektral aufgelöste Messung (Peakwellenlänge, Bandbreite); Bestrahlungsstärken über 200 mW/cm² (Standardbereich); Sensortemperaturen über 60 °C; Einsatz unter Wasser oder unter Druck |
| Datenblattversion | Rev. 2026-09-08 (D_tinyTracker172 nm_fuer_xenon_excimer_lampen.pdf) |
Die oben genannte Kalibrierunsicherheit ist die erweiterte Unsicherheit der Kalibrierung (k = 2, Vertrauensniveau rund 95 %) und gilt für die Kalibrierquelle und die Kalibrierbedingungen. Die Messunsicherheit im Einsatz ist größer: Hinzu kommen die spektrale Fehlanpassung an der eingesetzten Quelle, die Sensortemperatur, die Alterung seit der Kalibrierung sowie Abstand und Ausrichtung zur Quelle. Wie sich daraus ein Unsicherheitsbudget ergibt, steht unter Messunsicherheit in der UV-Messtechnik.
tinyTracker 172 nm als 3D-Modell ansehen
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Der tinyTracker 172 nm lässt sich im 3D-Produktviewer von allen Seiten betrachten – originalgetreu aus den CAD-Konstruktionsdaten. Bei 10 mm Bauhöhe und dem Einsatz unter Inertgasatmosphäre entscheidet jeder Millimeter Bauhöhe darüber, ob das Gerät durch den Bestrahlungskanal passt – das zeigt die räumliche Ansicht deutlicher als eine Maßangabe.
Technische Daten tinyTracker 172 für Xenon-Excimer-Lampen
| Messbereich | 0–200 mW/cm² |
| Auflösung | 12 Bit |
| Aufzeichnungsdauer | bis zu 3 Stunden |
| Aufzeichnungsfrequenz | 1–100 Hz, einstellbar |
| Photodetektor | SiC |
| Spektrale Empfindlichkeit | 155 bis 520 nm |
| Abmessungen | 195 × 79 × 10 mm |
| zulässige Betriebstemperatur | 60 °C |
| Versorgungsspannung | 5 V DC |
| Stromversorgung | Li-Ion-Akku, 1.250 mAh |
| Schnittstelle | Mini-USB 2.0 |
| Systemvoraussetzungen | Windows 10 / 11, 300 MB HDD, 4 GB RAM |
Häufige Fragen: tinyTracker 172 nm
Xenon-Excimerlampen bei 172 nm emittieren im Vakuum-UV, das von Luft innerhalb weniger Millimeter absorbiert wird; Standard-UVC-Sensoren mit Filtern für 200–280 nm erfassen diese Wellenlänge nicht. Der tinyTracker 172 nm ist bei 172 nm kalibriert, sein Detektor ist von 155 bis 520 nm empfindlich und wird für die Messung in Stickstoff- oder Inertgasatmosphäre direkt unter der Lampe positioniert. Der Messbereich beträgt 0–200 mW/cm².
Typische Prozesse sind die Oberflächenaktivierung und Reinigung in der Halbleiter- und Displayfertigung, die Vorbehandlung vor dem Kleben oder Beschichten und die Mattierung von Lacken mit Excimerstrahlern. In allen Fällen wird die Dosis in mJ/cm² am Substrat bestimmt, weil sie den Prozess definiert; das Gerät fährt dazu mit dem Substrat durch die Inertgaszone und zeichnet den Zeitverlauf auf.
Der Detektor ist von 155 bis 520 nm empfindlich, kalibriert ist das Gerät aber nur bei 172 nm. Bei 185 nm (ozonerzeugende Niederdrucklampen) oder 222 nm (KrCl-Excimer) liefert es Relativwerte, keine rückführbare Bestrahlungsstärke; dafür wäre eine quellenspezifische Kalibrierung nötig, die Opsytec auf Anfrage prüft. Für 222-nm-Lampen empfiehlt sich außerdem ein Spektralradiometer wie das SR900, um Nebenemissionen im UVC zu bewerten.
Der Kalibrierschein weist die erweiterte Kalibrierunsicherheit mit k = 2 aus; für den tinyTracker 172 nm liegt sie typisch bei 4,5–6,0 %. Im laufenden Betrieb ist die Messunsicherheit größer, weil spektrale Fehlanpassung an der eingesetzten Quelle, Sensortemperatur, Alterung und Messgeometrie hinzukommen. Wie sich daraus ein Unsicherheitsbudget ergibt, steht unter Messunsicherheit in der UV-Messtechnik.
Bestellnummern, Lieferumfang, Zubehör und Versionen
| Ausführung | Bestellnummer |
|---|---|
| tinyTracker 172 nm | 824204 |
Lieferumfang: tinyTracker172, Werkskalibrierschein, USB-Kabel, Netzteil und Transportkoffer.
